Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів
1

Simulation of silicon dry etching through a mask in low pressure fluorine-based plasma

R Knizikevičius, A Galdikas, A Grigonis, L Pranevičius, Ž Rutkūnienë
Журнал:
Vacuum
Рік:
1996
Мова:
english
Файл:
PDF, 581 KB
english, 1996
3

The influence of nanosecond pulse laser irradiation on the properties of a-C:H films

A. Grigonis, Ž. Rutkunienė, A. Medvids
Журнал:
Vacuum
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 162 KB
english, 2008
4

Stress and strain in DLC films induced by electron bombardment

M. Šniurevičiūtė, J. Laurikaitienė, D. Adlienė, L. Augulis, Ž. Rutkūnienė, A. Jotautis
Журнал:
Vacuum
Рік:
2009
Мова:
english
Файл:
PDF, 251 KB
english, 2009
5

Laser-induced transformation of a-C:H thin films

A. Grigonis, Ž. Rutkunienė, H. Manikowski, M. Šilinskas
Журнал:
Vacuum
Рік:
2009
Мова:
english
Файл:
PDF, 163 KB
english, 2009
6

Formation of polymeric layers using halogen–carbon plasmas

Ž Rutkūnien≐, A Grigonis
Журнал:
Vacuum
Рік:
2002
Мова:
english
Файл:
PDF, 156 KB
english, 2002
7

Formation of polymeric layer during silicon etching in CF2Cl2 plasma

A. Grigonis, R. Knizikevičius, Ž. Rutkūnien≐, D. Tribandis
Журнал:
Vacuum
Рік:
2003
Мова:
english
Файл:
PDF, 161 KB
english, 2003
8

Kinetics of composition of polymeric layer during silicon etching in CF2Cl2 plasma

A. Grigonis, R. Knizikevičius, Ž. Rutkūnien≐, M. Puc≐ta
Журнал:
Applied Surface Science
Рік:
2002
Мова:
english
Файл:
PDF, 185 KB
english, 2002
9

Nanostructure Formation during Amorphous Carbon Films Deposition

Rutkuniene, Z., Vigricaite, L., Grigonis, A.
Журнал:
Acta Physica Polonica A
Рік:
2014
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.32 MB
english, 2014