Isotope-pure28Si layers grown by VPE
O. N. Godisov, A. K. Kaliteevsky, A. Yu. Safronov, V. I. Korolev, P. N. Aruev, B. Ya. Ber, V. Yu. Davydov, N. V. Zabrodskaya, V. V. Zabrodsky, M. A. Kaliteevsky, P. S. Kop’ev, A. P. Kovarsky, V. L. SuТом:
36
Мова:
english
Сторінки:
2
DOI:
10.1134/1.1529252
Date:
December, 2002
Файл:
PDF, 32 KB
english, 2002