Defect Engineering and Gettering in a High-voltage Substrate Technolgy
Dr. G. Kissinger, Dr. W. Kissinger, K. Tittelbach-Helmrich, U. Retzlaff, J. Knopke, Dr. K. Schmalz, G. MorgensternТом:
27
Рік:
1992
Мова:
english
Сторінки:
10
DOI:
10.1002/crat.2170270123
Файл:
PDF, 669 KB
english, 1992