Strain Tailoring in 3C-SiC Heteroepitaxial Layers Grown on Si(100)
G. Ferro, T. Chassagne, A. Leycuras, F. Cauwet, Y. MonteilТом:
12
Рік:
2006
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1002/cvde.200506461
Файл:
PDF, 369 KB
english, 2006