Three-dimensional vector accelerometer using soi structure for high-temperature use
Hidekuni Takao, Yoshinori Matsumoto, Makoto Ishida, Tetsuro Nakamura, Hidekazu Tanaka, Hee-Don SeoТом:
79
Рік:
1996
Мова:
english
Сторінки:
12
DOI:
10.1002/ecjb.4420790308
Файл:
PDF, 1.03 MB
english, 1996