Heteroleptic Guanidinate- and Amidinate-Based Complexes of Hafnium as New Precursors for MOCVD of HfO2
Ke Xu, Andrian P. Milanov, Manuela Winter, Davide Barreca, Alberto Gasparotto, Hans-Werner Becker, Anjana DeviТом:
2010
Рік:
2010
Мова:
english
Сторінки:
10
DOI:
10.1002/ejic.200901225
Файл:
PDF, 670 KB
english, 2010