Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
1987 Vol. 21; Iss. 1-4
Damage profiles of MeV implants of Ga and Si in silicon
Amarendra K. Rai, John A. Baker, David C. Ingram, Anthony W. McCormick, David A. WalshТом:
21
Рік:
1987
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/0168-583x(87)90879-2
Файл:
PDF, 3.45 MB
english, 1987