Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів

Properties of TiN films grown by atomic-layer chemical...

Properties of TiN films grown by atomic-layer chemical vapor deposition with a modified gaseous-pulse sequence

Hsyi-En Cheng, Wen-Jen Lee
Наскільки Вам сподобалась ця книга?
Яка якість завантаженого файлу?
Скачайте книгу, щоб оцінити її якість
Яка якість скачаних файлів?
Том:
97
Рік:
2006
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/j.matchemphys.2005.08.017
Файл:
PDF, 546 KB
english, 2006
Виконується конвертація в
Конвертація в не вдалась