Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
1987 Vol. 19-20; Iss. part-P1
Damage created in silicon by BFn+ (1≤ n ≤ 3) and PFn+ (1⪯ n:≤ 5) implantations
A. Grob, J.J. Grob, A. GolanskiТом:
19-20
Рік:
1987
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/s0168-583x(87)80014-9
Файл:
PDF, 386 KB
english, 1987