Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
1987 Vol. 19-20; Iss. part-P1
Simulation of high fluence N implantation into Fe
M. Rangaswamy, D. Farkas, H.L. SobelТом:
19-20
Рік:
1987
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/s0168-583x(87)80041-1
Файл:
PDF, 245 KB
english, 1987