Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
1987 Vol. 19-20; Iss. part-P1
High temperature oxygen implantation in silicon: Soil structure formation characteristics
S. Maillet, R. Stuck, J.J. Grob, A. Golanski, R. Pantel, A. PerioТом:
19-20
Рік:
1987
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/s0168-583x(87)80060-5
Файл:
PDF, 846 KB
english, 1987
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
