Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
1987 Vol. 19-20; Iss. part-P1
Shallow junctions by ion implantation and rapid thermal annealing
Chris HillТом:
19-20
Рік:
1987
Мова:
english
Сторінки:
11
DOI:
10.1016/s0168-583x(87)80071-x
Файл:
PDF, 915 KB
english, 1987