Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
1987 Vol. 19-20; Iss. part-P1
Arsenic implants for shallow n+ Si layers
D. Eirug Davies, E.F. KennedyТом:
19-20
Рік:
1987
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/s0168-583x(87)80072-1
Файл:
PDF, 291 KB
english, 1987