Experimental investigation of the impact of LWR on sub-100-nm device performance
Hyun-Woo Kim, Ji-Young Lee, Shin, J., Sang-Gyun Woo, Han-Ku Cho, Joo-Tae MoonТом:
51
Рік:
2004
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1109/ted.2004.839115
Файл:
PDF, 714 KB
english, 2004