Integrated Optical Micromachined Pressure Sensor with Spectrally Encoded Output and Temperature Compensation
De Brabander, Gregory N., Beheim, Glenn, Boyd, Joseph T.Том:
37
Рік:
1998
Мова:
english
Журнал:
ao/37/15/ao-37-15-3264.pdf
DOI:
10.1364/AO.37.003264
Файл:
PDF, 152 KB
english, 1998