Plasma Chemical Study of a RF Discharge Containing Aluminum Tri-Isoproxide Using MIR Absorption Spectroscopy Based on External-Cavity Quantum Cascade Lasers
D. Lopatik, S. Niemietz, M. Fröhlich, J. Röpcke, H. KerstenТом:
aop
Рік:
2012
Мова:
english
Сторінки:
1
DOI:
10.1002/ctpp.201200044
Файл:
PDF, 220 KB
english, 2012