Structuring HTC-films by electron beam lithography
Wolfgang Albrecht, Wolfram Langheinrich, Heinrich Kurz, Ulrich Poppe, Helmut SoltnerТом:
164-165
Рік:
1990
Мова:
english
Сторінки:
1566
DOI:
10.1016/0022-5088(90)90581-4
Файл:
PDF, 567 KB
english, 1990