New Positive-Type Photoresists Based on Enzymatically Synthesized Polyphenols
Joji Kadota, Tokuma Fukuoka, Hiroshi Uyama, Kiichi Hasegawa, Shiro KobayashiТом:
25
Рік:
2004
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1002/marc.200300045
Файл:
PDF, 144 KB
english, 2004