A New Concept for an Alkaline Developable Positive-Tone Resist: Molecular Resist Utilizing Acid Catalyzed Isomerization from Oxabenzonorbornadiene to Naphthol
Hajime Mori, Eisaku Nomura, Asao Hosoda, Yasuhito Miyake, Hisaji TaniguchiТом:
29
Рік:
2008
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1002/marc.200700604
Файл:
PDF, 225 KB
english, 2008
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
