Fabrication of SU-8 multilayer microstructures based on...

Lab on a Chip 2005 Vol. 5; Iss. 5

Fabrication of SU-8 multilayer microstructures based on successive CMOS compatible adhesive bonding and releasing steps

Agirregabiria, M., Blanco, F. J., Berganzo, J., Arroyo, M. T., Fullaondo, A., Mayora, K., Ruano-López, J. M.

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2005

Мова:

english

Журнал:

Lab on a Chip

DOI:

10.1039/b500519a

Файл:

PDF, 633 KB

english, 2005

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась