Theoretical analysis of thermal and mass transport in ion-implanted laser-annealed silicon
Wang, J. C., Wood, R. F., Pronko, P. P.Том:
33
Рік:
1978
Мова:
english
Журнал:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.90377
Файл:
PDF, 626 KB
english, 1978