Liner materials for direct electrodeposition of Cu

Lane, M. W., Murray, C. E., McFeely, F. R., Vereecken, P. M., Rosenberg, R.

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2003

Мова:

english

Журнал:

Applied Physics Letters

DOI:

10.1063/1.1610256

Файл:

PDF, 520 KB

english, 2003

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась