Low refractive index SiOF thin films prepared by reactive magnetron sputtering
Garcia-Garcia, F.J., Gil-Rostra, J., Terriza, A., González, J.C., Cotrino, J., Frutos, F., Ferrer, F.J., González-Elipe, A.R., Yubero, F.Том:
542
Мова:
english
Журнал:
Thin Solid Films
DOI:
10.1016/j.tsf.2013.07.009
Date:
September, 2013
Файл:
PDF, 597 KB
english, 2013