BPN a new thick negative photoresist with high aspect ratio for MEMS applications
D. Bourrier, M. Dilhan, A. Ghannam, L. Ourak, H. GranierТом:
19
Мова:
english
DOI:
10.1007/s00542-012-1648-0
Date:
March, 2013
Файл:
PDF, 405 KB
english, 2013
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
