Growth of Crack-Free 100mm-Diameter 4H-SiC Crystals with Low Micropipe Densities
Nakabayashi, Masashi, Fujimoto, Tatsuo, Katsuno, Masakazu, Ohtani, Noboru, Tsuge, Hiroshi, Yashiro, Hirokatsu, Aigo, Takashi, Hoshino, Taizo, Hirano, Hosei, Tatsumi, KoheiТом:
600-603
Рік:
2009
Мова:
english
Журнал:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.600-603.3
Файл:
PDF, 2.76 MB
english, 2009