Monolithic parallel linear compliant mechanism for two axes ultraprecision linear motion
Choi, Kee-Bong, Kim, Doo-HyeongТом:
77
Рік:
2006
Мова:
english
Журнал:
Review of Scientific Instruments
DOI:
10.1063/1.2207368
Файл:
PDF, 959 KB
english, 2006