Nonconvex Hamiltonians in three dimensional level set simulations of the wet etching of silicon
RadjenovicÌ, Branislav, RadmilovicÌ-RadjenovicÌ, Marija, MitricÌ, MiodragТом:
89
Рік:
2006
Мова:
english
Журнал:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.2388860
Файл:
PDF, 408 KB
english, 2006