Precise profile control of 3D lateral junction traps by 2D mask layout and isotropic etching
Yobas, Levent, Sharma, Rajnish Kumar, Nagarajan, Ranganathan, Samper, Victor D, Naidu, Priya Sarapna RajooТом:
15
Мова:
english
Журнал:
Journal of Micromechanics and Microengineering
DOI:
10.1088/0960-1317/15/2/019
Date:
February, 2005
Файл:
PDF, 1000 KB
english, 2005
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
