Observation of multiple defect states at siliconâsilicon...

Observation of multiple defect states at siliconâsilicon nitride interfaces fabricated by low-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition

Schmidt, Jan, Schuurmans, Frank M., Sinke, Wim C., Glunz, Stefan W., Aberle, Armin G.

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

1997

Мова:

english

Журнал:

Applied Physics Letters

DOI:

10.1063/1.119512

Файл:

PDF, 263 KB

english, 1997

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась