[IEEE 2013 IEEE 10th International Conference on ASIC...

[IEEE 2013 IEEE 10th International Conference on ASIC (ASICON 2013) - Shenzhen, China (2013.10.28-2013.10.31)] 2013 IEEE 10th International Conference on ASIC - Fabrication of silicon-based MEMS capacitive microphone structure with thin starting wafer

Xiaoxu Kang,, Chao Yuan,, Qingyun Zuo,, Changwa Yao,, Shoumian Chen,, Yuhang Zhao,, Yilin Yan,, Yuanjun Xu,, Weiping Zhou,

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Рік:

2013

Мова:

english

DOI:

10.1109/ASICON.2013.6811942

Файл:

PDF, 318 KB

english, 2013

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась