In situ kinetic analysis of SiC filaments CVD
Féron, O., Chollon, G., Dartigues, F., Langlais, F., Naslain, R.Том:
11
Мова:
english
Журнал:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/S0925-9635(01)00712-9
Date:
March, 2002
Файл:
PDF, 152 KB
english, 2002