Characterization of 45° Micromirrors Fabricated by Silicon Anisotropic Etching in Solutions Containing Different Organic Additives
Rola, Krzysztof, Ptasiński, Konrad, Zakrzewski, Adrian, Zubel, IrenaТом:
47
Рік:
2012
Мова:
english
Журнал:
Procedia Engineering
DOI:
10.1016/j.proeng.2012.09.196
Файл:
PDF, 615 KB
english, 2012
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
