R.f. sputtering of gallium phosphide thin films
K. Starosta, J. Zelinka, D. Berková, J. KohoutТом:
61
Рік:
1979
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1016/0040-6090(79)90467-x
Файл:
PDF, 487 KB
english, 1979