Growth of SiC films obtained by LPCVD
Clavaguera-Mora, M.T., Rodriguez-Viejo, J., El Felk, Z., Hurtós, E., Berberich, S., Stoemenos, J., Clavaguera, N.Том:
6
Мова:
english
Журнал:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/S0925-9635(97)00084-8
Date:
August, 1997
Файл:
PDF, 850 KB
english, 1997