Resistance of turbo-molecular pump to gallium
C. Urano, H. Kotaka, H. Enosawa, K. ObokataТом:
41
Рік:
1990
Мова:
english
Сторінки:
3
DOI:
10.1016/0042-207x(90)94165-m
Файл:
PDF, 326 KB
english, 1990