Pre-amorphization damage in ion-implanted silicon
Schreutelkamp, R.J., Custer, J.S., Liefting, J.R., Lu, W.X., Saris, F.W.Том:
6
Рік:
1991
Мова:
english
DOI:
10.1016/0920-2307(91)90001-4
Файл:
PDF, 7.81 MB
english, 1991