Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs
Michel Meunier, Marc Suys, Maleck Tabbal, Ricardo Izquierdo, Arthur Yelon, Edward SacherТом:
79-80
Рік:
1994
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1016/0169-4332(94)90411-1
Файл:
PDF, 552 KB
english, 1994