Deposition and characterization of CVD-tungsten and tungsten carbonitrides on (100) Si
K.A. Gesheva, E.S. Vlakhov, G.I. Stoyanov, G.D. Beshkov, M. MarinovТом:
22
Рік:
1996
Мова:
english
Сторінки:
3
DOI:
10.1016/0272-8842(95)00060-7
Файл:
PDF, 313 KB
english, 1996