Controlling Levitation and Enhancing Displacement in Electrostatic Comb Drives of MEMS Actuators
Imboden, Matthias, Morrison, Jessica, Lowell, Evan, Han, Han, Bishop, David J.Том:
23
Мова:
english
Журнал:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2014.2303898
Date:
October, 2014
Файл:
PDF, 2.77 MB
english, 2014
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
