Stepper Motor Actuated Microvalve
Fazal, Imran, Louwerse, Marcus, Jansen, Henri, Elwenspoek, MikoТом:
34
Мова:
english
Журнал:
Journal of Physics: Conference Series
DOI:
10.1088/1742-6596/34/1/171
Date:
April, 2006
Файл:
PDF, 266 KB
english, 2006