Study of TiN and ZrN thin films grown by cathodic arc technique
D.F. Arias, Y.C. Arango, A. DeviaТом:
253
Рік:
2006
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1016/j.apsusc.2006.03.017
Файл:
PDF, 1.08 MB
english, 2006