Influence of Cu electroplating solutions on boron carbon nitride (BCN) film
Hidemitsu Aoki, Makoto Hara, Takuro Masuzumi, Motaharu K. Mazumder, Naoki Ooi, Daisuke Watanabe, Chiharu Kimura, Takashi SuginoТом:
255
Рік:
2009
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/j.apsusc.2008.10.046
Файл:
PDF, 518 KB
english, 2009
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
