Nitric acid oxidation of Si (NAOS) method for low...

Nitric acid oxidation of Si (NAOS) method for low temperature fabrication of SiO2/Si and SiO2/SiC structures

H. Kobayashi, K. Imamura, W.-B. Kim, S.-S. Im, Asuha

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

256

Рік:

2010

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.apsusc.2010.03.092

Файл:

PDF, 2.52 MB

english, 2010

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась