Microstructuring of fused silica by laser-induced backside wet etching using picosecond laser pulses
M. Ehrhardt, G. Raciukaitis, P. Gecys, K. ZimmerТом:
256
Рік:
2010
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/j.apsusc.2010.05.055
Файл:
PDF, 447 KB
english, 2010