Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів

Novel anionic photoacid generators (PAGs) and corresponding...

Novel anionic photoacid generators (PAGs) and corresponding PAG bound polymers for sub-50 nm EUV lithography

Wang, Mingxing, Gonsalves, Kenneth E., Rabinovich, Monica, Yueh, Wang, Roberts, Jeanette M.
Наскільки Вам сподобалась ця книга?
Яка якість завантаженого файлу?
Скачайте книгу, щоб оцінити її якість
Яка якість скачаних файлів?
Том:
17
Рік:
2007
Мова:
english
Журнал:
Journal of Materials Chemistry
DOI:
10.1039/b617133h
Файл:
PDF, 538 KB
english, 2007
Виконується конвертація в
Конвертація в не вдалась