Diagnostic technique for laser micromachining of multi-layer thin films
Guangyu Liu, Dario J. Toncich, Erol C. Harvey, Fenge YuanТом:
45
Рік:
2005
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1016/j.ijmachtools.2004.08.017
Файл:
PDF, 297 KB
english, 2005