Fabrication of RF-MEMS switches on LTCC substrates using PECVD a-Si as sacrificial layer
E. Cianci, A. Coppa, V. Foglietti, M. Dispenza, R. Buttiglione, A.M. Fiorello, R. Marcelli, S. Catoni, D. PochesciТом:
84
Рік:
2007
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/j.mee.2007.01.096
Файл:
PDF, 483 KB
english, 2007
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
