Electrothermally actuated resonant rate gyroscope fabricated using the MetalMUMPs
Rana I. Shakoor, Shafaat A. Bazaz, M. Burnie, Y. Lai, M.M. HasanТом:
42
Рік:
2011
Мова:
english
Сторінки:
9
DOI:
10.1016/j.mejo.2010.05.004
Файл:
PDF, 1.78 MB
english, 2011