On the influence of substrate cleaning method and rapid...

On the influence of substrate cleaning method and rapid thermal annealing conditions on the electrical characteristics of Al/SiNx/SiO2/Si fabricated by ECR-CVD

S. Dueñas, H.Castán, H. García, J. Barbolla, E. San Andrés, I. Mártil, G. González-Díaz

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2005

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.microrel.2004.11.012

Файл:

PDF, 299 KB

english, 2005

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась