Potential remedies for the VT/Vfb-shift problem of...

Potential remedies for the VT/Vfb-shift problem of Hf/polysilicon-based gate stacks: a solution-based survey

W. Deweerd, V. Kaushik, J. Chen, Y. Shimamoto, T. Schram, L.-Å. Ragnarsson, A. Delabie, L. Pantisano, B. Eyckens, J.W. Maes, S. De Gendt, M. Heyns

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2005

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.microrel.2004.11.048

Файл:

PDF, 486 KB

english, 2005

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась